金融界2025年8月1日消息,国家知识产权局信息显示,苏州芯睿科技有限公司申请一项名为“一种限位工装”的专利,公开号CN120413499A,申请日期为2024年01月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆键合设备技术领域,尤其涉及一种限位工装。该限位工装包括上盘,上盘包括主体和凸盘,凸盘自主体的下端面向下方凸出设置,且凸盘的直径小于主体的直径,凸盘的下端面为第一基准面,第一基准面能够与限位柱的承载面搭接,凸盘的外周面为与载盘同心的第二基准面,主体的外周面为第三基准面,根据晶圆的直径,限位柱的限位面选择性与第二基准面或第三基准面抵靠。该限位工装结构简单,且能够实现一个限位工装可以针对直径不同的限位键结构进行限位,有利于降低限位工装的成本,提高限位工装的适用范围,且操作简单。该调试系统,该调试系统包括上述限位工装,以提高同心度的精度。
天眼查资料显示,苏州芯睿科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1397.9412万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州芯睿科技有限公司参与招投标项目25次,财产线条,此外企业还拥有行政许可11个。
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